- 작성일
- 2025.11.26
- 수정일
- 2025.11.26
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다원계 박막용 원자층증착법 기술 개발 표준 트렌드
발간일 : 2022
저자 : 한양대학교 나노과학기술연구소 교수 박인성
다원계 박막용 원자층증착법(ALD) 기술 개발과 표준화 동향을 다루고 있습니다.
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