- 작성일
- 2025.11.26
- 수정일
- 2025.11.26
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반도체 핵심 소재 웨이퍼의 표면미세불량 측정 기술 및 장비 개발 표준 트렌드
발간일 : 2022
저자 : 가천대학교 물리학과 교수 배준호
반도체 핵심 소재인 웨이퍼의 표면 미세 불량 측정 기술 및 장비 개발에 관한 표준화 동향을 다루고 있습니다.
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